櫃式真空等離（lí）子處理機_廣赫捷智（zhì）能裝備(蘇州)有限公司

櫃式真空等離子（zǐ）處理機

一.設備介紹：

等離子電源、抽真（zhēn）空係統、進氣係統、自動控製係（xì）統等部分組成。工作基本原（yuán）理是在真空狀態下，等離子作用在控製和（hé）定（dìng）性方法下能夠電離氣體,利用真空泵（bèng）將（jiāng）腔體進行抽真（zhēn）空（kōng）達（dá）到30pa左右的真空度，再在電源作用（yòng）下（xià），將氣體進行電離，形成等離子體（物質第（dì）四態），其顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據不同氣體發出從藍色到深紫色的彩色可見光，材料處理溫度（dù）接近室溫（wēn）。這（zhè）些高度活躍微（wēi）粒（lì）子和處理的表麵發生（shēng）作用，得到了表麵親水性、低摩擦、高度（dù）清潔、激活、蝕刻（kè）等各種表麵改性。

二.設備亮點：

2.1 穩定性：確保（bǎo）真空腔體在穩定壓力下處理材料，處理均勻（yún）性好；

2.2 通用性：處理物幾何形狀無限製:大或小，簡單或複雜，部件或（huò）紡織品，均可處理（lǐ）。不分處理對象的基材類型,均（jun1）可進行處理,如金屬、半導體氧化物和大多數高分子材料都能很好地處理；

2.3環保（bǎo）技術：等離子體作用過程是（shì）氣- 固相幹式反應 ,不消耗水資源、無需添加化學藥劑,對環（huán）境無（wú）汙染。

2.4 溫度低：接近常溫，特別適於高分子材料，比電暈和火焰方法（fǎ）有較長保存時間和（hé）較（jiào）高表麵張力。

2.5功能強：僅涉及高分（fèn）子材料淺表麵（10 -1000A ），可在保（bǎo）持（chí）材料自身特性的同時，賦予其一種或多種新的功能；

2.6可控性：裝置簡單，易操作維（wéi）修，可連續運行，往往幾瓶氣體就可（kě）以代替數千公斤清洗液,因此清洗成本會大大低於濕法清洗（xǐ）。

全（quán）過程可控（kòng）工藝：所有參數可自主設置（zhì）和數據記（jì）錄，進行工藝（yì）質（zhì）

量控（kòng）製；

三.處（chù）理效果檢測方法

3.1水滴角檢測

三（sān）：測試儀器及方法

3.2達因筆檢測（cè）

將達因筆垂直於要被測試的材料表麵，在表麵均勻的畫上一條直線，如果連續成直線，沒有在5秒內產生（shēng）收縮現場，則（zé）表（biǎo）明該材料表麵張力（lì）已經達到測試筆的張力值。若果筆頭（tóu）所（suǒ）到的地方斷斷（duàn）續續（xù），並凝聚成小水珠，則表明未達到測試筆的（de）張力值

四（sì）.技術（shù）參數

型號	MF015-01	RF060-06	RF120-08
控製方式	PLC+觸摸屏	PLC+觸摸屏	PLC+觸摸屏
電源頻率	40 kHz	13.56 MHz	13.56 MHz
腔體容量	15L	60L	120L
腔體層數	1層	5~10層	6~15層
腔體規（guī）格	長寬高380x310x120mm	長寬（kuān）高500x450x300mm	長寬高500x500x500mm
托板尺寸	/	長寬高380*430x4mm	長寬高380*480x4mm
工作真空度	10-60Pa	10-60Pa	10-60Pa
泵組抽速	20~60 M3/H	20~60 M3/H	20~60 M3/H
工作氣體	Ar、N2、H2、CF4、O2 標配2路	Ar、N2、H2、CF4、O2 標配（pèi）2路	Ar、N2、H2、CF4、O2 標配2路
整機尺寸	長寬高7008001700mm	長寬高11008001700mm	長寬高11009001700mm
主機電源	220VAC,50/60Hz, 2KW	380V/AC,50/60Hz, 3KW	380V/AC,50/60Hz, 3KW
機器重量	300 KG	480 KG	500 KG
額定功率	3.0 KW	3.5 KW	4 KW

5. 主要（yào）配置（RF060-06/RF120-08）

序號	類型	參數	說明
1	機台材質	烤漆/鏡麵不鏽鋼
2	等離子體發生器組件（jiàn）	射頻電源（yuán）和自動匹配（pèi）器	美國AE /德國COMET/國（guó）產
3	真空泵（bèng）組件	旋片（piàn）式真空泵	英國愛德華（huá）/國產
4	真（zhēn）空測定組件	電（diàn）阻式真（zhēn）空計（jì）	進口英福康/國產（chǎn）
5	氣（qì）體計量組件	質量流量控製計	進口/國產七（qī）星華創/其它
6	電氣組件	知名品牌元器（qì）件	施耐德/西門子（zǐ）/台達/維綸（lún）

六.應用場景

6.1生物醫療行業


輸液管座	胃管等（děng）塗層（céng）前	醫療器械消毒

6.2紡織及鞋底行業


無紡布印刷前	鞋底清洗	無（wú）紡布阻燃前處

6.3 半導體芯片領域


GPU芯片	晶圓	芯片

6.4線路板行業


線路板沉（chén）銅前去（qù）膠渣	線路板印刷前	軟板沉銅及印刷前

6.5其它行業


矽膠	陶瓷（cí）	汽車中控屏

航空銀膜	聚合體接（jiē）枝	曲麵玻璃

七．安裝說明

1	供電電網要求（qiú）：AC220V,50/60Hz/AC380V,50/60Hz；供電電網波動： ± 5%，電網地（dì）線符合國際要求。電壓振幅5%以上的地區，應加裝自動（dòng）穩壓，穩流裝置；
2	工藝氣體：Ar、N2、H2、CF4、O2、Air
3	現場準（zhǔn）備工藝氣體配套2套減壓閥
4	某些環（huán）境應裝防靜電地板，加強屏蔽等（děng）;

櫃式真空等離子處理機

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